氮化硅陶瓷在熱穩定的性能上比較高，且抗氧化的能力也非常強，Z主要的是其在尺寸的精度上非常好等，這些都是氮化硅具備的優良性能。因為氮化硅屬于高強的化合物，而且空氣中還能形成氧化物的保護膜，因此其還具備了較良好的化學方面的穩定性能，如果是在1200℃以下的話，基本不會出現被氧化的情況，而在1200℃-1600℃之間的話，還可以生產較強的保護膜，并有效的預防其出現氧化的情況。
由于氮化硅陶瓷的材料還可以使用在高溫的工程部件中，或者是冶金等工業中屬于高級且耐火的材料，而在化工行業中屬于抗腐蝕的部件和密封的部件等。因為氮化硅和碳化硅、二氧化釷、氧化鋁和碳化硼等可以形成較強的結合，因此可以作為結合的材料來使用，并進行不同的配比和改性。
而且還能將氮化硅陶瓷直接使用在太陽能的電池中，利用PECVD的方式進行鍍氧化硅膜之后，不僅可以降低反射膜的射光反射，且氮化硅的薄膜在整個沉淀的過程中，反應的產物中氫原子在進入到氮化硅的薄膜，或者是硅片中的時候，可以起到一定的鈍化缺陷作用。
